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日本三豐測高儀518-236，QM-Height 精度高達（1.1+0.6L/600）um分辨率為0.1un/重復精度0.4um 確保5um的垂直度G正E面）和4um的直線度 配置全/半氣浮系統，可根據操作情況（移動/測量）調節氣墊高度，在保持精度不變的同時完成快速檢驗
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菲希爾測厚儀
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